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你好，我是小好

我是你的研究搭子，可以陪你找项目、读方法、核证据。一起把问题看清楚，再决定下一步。

找项目从真实案例和设计取舍开始 读方法理解输入、步骤与适用边界 核证据回到项目版本与原文引用
我会把依据留给你

现在提供真实导览，不把演示当成自动研究。这里不调用模型，也不会修改你的资料。
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研究整理档案 · 8 个阅读模块　整理与查看研究版本

好设计 / 项目档案

三维集成芯片制造用的超精密减薄装备

从需求与系统、设计思路到指标与验证，逐步了解这个项目。资料依据和AI解读分别呈现，未知信息保留空白。

题录年份 2025 · 金奖待专业审核research-000002

档案概览

来源资料整理 · 待专业审核
8内容模块
21信息记录
16保存的来源文件
未评档案质量
认识这个项目

从项目事实，读到设计思路。

先看需求与系统，再理解创新机制，最后核对指标与验证。

另有 5 条AI解读，前提与限制单独保留。

需求与系统设计思路指标与验证
如何理解这里的统计与评分？

46 / 273 个已登记字段有值，填充率只针对当前记录，不表示研究完整或事实正确。质量分：未评；专家审核未完成。

检索创新知识，开展独立应用试验

深入了解这个项目

核心 4 个板块已展开 · 可同时阅读多个主题

01项目概况

5 条资料记录 · 9 个有值字段 · 1 条AI解读

字段填充 15.3%
AI阅读导读

已用2025第十届正式获奖名单确认金奖、编号12025070025及华海清科/清华大学两完成单位；高校报道补路新春历史研发角色，不能替代完整获奖完成人清单。

继续完善的方向
  • 补正式推荐书、完整完成人及各单位分工。
  • 专利作者、报道人物不能自动加入获奖名单。
获奖项目身份
规范名称
三维集成芯片制造用的超精密减薄装备
待补信息 · 14 项
项目ID
别名与旧名
英文名称
项目类型
所属行业
项目摘要
研究范围
排除范围
上级项目
版本与型号
当前发展阶段
状态截至日期
档案负责人
下次复核日期
2025第十届好设计金奖
奖项名称
好设计奖
获奖年份
2025
奖项等级
金奖
官方项目编号
12025070025
待补信息 · 10 项
届次
颁发或主办机构
公布日期
颁奖日期
完成单位
完成人
提名单位或专家
奖金金额
奖金币种
官方证明
完成单位：华海清科
原始机构名称
华海清科股份有限公司
待补信息 · 10 项
核定名称
旧名与别名
机构类型
国家或地区
机构统一标识
官网
项目角色
角色依据
具体贡献
公开联系渠道
完成单位：清华大学
原始机构名称
清华大学
待补信息 · 10 项
核定名称
旧名与别名
机构类型
国家或地区
机构统一标识
官网
项目角色
角色依据
具体贡献
公开联系渠道
路新春：高校报道研发角色
姓名
路新春
项目角色
清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发
待补信息 · 6 项
所属机构
具体贡献
参与起点
参与终点
是否获奖完成人
角色证据
AI解读 · 未经工程验证 2025第十届好设计金奖

10

适用前提：官方名单原文写中文第十届，标准整数字段为平台编码转换

限制：届次编码解释，非新增工程事实；不把题录ID后缀当排名

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02需求与系统

7 条资料记录 · 14 个有值字段 · 0 条AI解读

字段填充 14.7%
AI阅读导读

行业通常需薄至10μm以下是需求；本项目结构采用磨削-CMP-清洗、洁净等级串行、多机械手及气流隔离。半包围支撑、双闭环面形和工艺组合分别建档。GP300明确型号不与GM/GH系列或全部CMP设备混同。

继续完善的方向
  • 补型号配置、接口/公差、工序节拍与误差预算。
  • 取得污染控制、刚性及面形测量原始方案。
三维堆叠减薄精度需求
使用场景
3D IC工艺需在多片晶圆完成电路制作，通过键合堆叠后对背面进行高精度减薄
原有方案
以单一磨削为主的传统减薄加工模式
原方案不足
传统的减薄装备面临精度瓶颈，难以满足3D IC最新发展要求
设计目标
通常需要减薄至10 μm以下，全局厚度偏差（TTV）控制到亚微米
待补信息 · 7 项
问题标题
需求发起方
目标用户
对照基线
约束条件
核心矛盾
成功判据
磨削—CMP—清洗一体化
技术或子系统名称
磨削减薄-CMP-清洗一体化
工作原理
设计了按模组洁净等级串行的紧凑布局，通过多机械手协作实现了复杂工艺模块的连通
关键接口
跨区域预清洗、封闭腔室气流独立控制和正压洁净气流主动控制
待补信息 · 11 项
型号或版本
承担功能
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
控制与软件
候选方案
选型理由
代价与取舍
失效与风险
维护要求
半包围主轴支撑
技术或子系统名称
半包围式主轴支撑结构
工作原理
设计了凹形立柱结构对主轴进行半包围支撑，通过缩短力臂减小加工过程受力变形
待补信息 · 12 项
型号或版本
承担功能
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
控制与软件
关键接口
候选方案
选型理由
代价与取舍
失效与风险
维护要求
磨削与CMP面形协同
技术或子系统名称
磨削-CMP联动双闭环面形智能调控系统
控制与软件
通过共享磨、抛加工后晶圆面形数据，实现在磨削和CMP加工中分别精准调控面形
待补信息 · 12 项
型号或版本
承担功能
工作原理
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
关键接口
候选方案
选型理由
代价与取舍
失效与风险
维护要求
损伤去除与效率协同
选型理由
以最终能够去除损伤层且总体效率最优为原则
待补信息 · 13 项
技术或子系统名称
型号或版本
承担功能
工作原理
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
控制与软件
关键接口
候选方案
代价与取舍
失效与风险
维护要求
GP300历史具体型号
技术或子系统名称
Versatile-GP300
待补信息 · 13 项
型号或版本
承担功能
工作原理
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
控制与软件
关键接口
候选方案
选型理由
代价与取舍
失效与风险
维护要求
相关专利的分区压力方法（未确认型号采用）
工作原理
能够根据基板的厚度分布分区调节加载压力
待补信息 · 13 项
技术或子系统名称
型号或版本
承担功能
关键部件
关键材料
制造或加工工艺
控制与软件
关键接口
候选方案
选型理由
代价与取舍
失效与风险
维护要求
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03设计思路

0 条资料记录 · 0 个有值字段 · 4 条AI解读

暂无登记字段
AI阅读导读

AI解读分别讨论洁净边界下的集成、跨工序测量反馈、损伤与产能多目标权衡及专利候选使用边界；它们是有依据的方法解释，不是源团队使用TRIZ等方法的历史证明。

继续完善的方向
  • 补方案比较、淘汰原因和实际迭代记录。
  • 迁移前要确定目标材料、测量与验证条件。

这个项目的研究档案还有待整理，暂无已入档事实；请先补充本项目资料。

AI解读 · 未经工程验证 把工序串联升级为受约束系统集成

一体化不仅把机器放在一起，还要同时管理洁净边界、搬运接口、节拍与反馈。匹配时应联合召回污染、结构与控制约束，而不是单纯搜索磨削。

适用前提：目标企业能提供工艺顺序、洁净等级与搬运条件。

限制：平台AI解读，未取得洁净室实测与接口标准；不可认定不同工艺均可合并。

AI解读 · 未经工程验证 用测量数据连接前后工序

将前序磨削与后序CMP的面形数据共享，以两阶段反馈分担误差，而非仅要求单个硬件无限增精度。目标应明确测量链、误差传播及时间成本。

适用前提：目标工序可测且可反馈调整；有可比量测基准。

限制：无原始控制程序、误差预算或批次数据，不能保证其他材料复现TTV。

AI解读 · 未经工程验证 把损伤去除与产能放在同一目标函数

磨削承担高效去除、CMP改善面形/损伤、清洗处理污染；优化应以最终合格交付而非某单元最快为目标。

适用前提：目标有缺陷、损伤、厚度与产出的定义和合格阈值。

限制：原文未给各模块耗时/损伤层深度和成本曲线，不能直接算节拍或经济收益。

AI解读 · 未经工程验证 专利提供结构线索，不替代工程验证

权利要求的分区加载压力和布局可作为解决方案候选，但需与实际型号配置、许可和原始试验再次连接。

适用前提：仅用于技术研究和方案检索；目标有合法使用边界。

限制：未确认本件属于获奖77项、GP300实际采用或当前权利/法律状态，不给自由实施结论。

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04指标与验证

4 条资料记录 · 11 个有值字段 · 0 条AI解读

字段填充 20.4%
AI阅读导读

TTV<0.7μm、产出≥14.5片/小时来自主办方项目描述，已标披露口径，未取得批次/测量/验收原始数据。厂内完成测试与进入客户验证是早期阶段；后续年报的多台验收另记。

继续完善的方向
  • 补测试样本、晶圆厚度/材料、量测方法、不确定度和原始报告。
  • 不要把行业需求、均值、最优值或公司定性评价混为统一保证指标。
全流程TTV披露上界
数值
0.7
单位
μm
数值限定
小于
原始口径
全流程加工后晶圆TTV小于0.7 μm
待补信息 · 10 项
指标名称
指标对象
适用版本
数值性质
工况与环境
测量方法
样本或试验次数
对照数值
测量时间
不确定性与误差
产出效率披露下界
数值
14.5
单位
片/小时
数值限定
不低于
原始口径
实现了产出效率不低于14.5片/小时
待补信息 · 10 项
指标名称
指标对象
适用版本
数值性质
工况与环境
测量方法
样本或试验次数
对照数值
测量时间
不确定性与误差
项目公开披露考核（非原始报告）
环境条件
中芯国际、长江存储、武汉新芯等3D IC生产线
验证结论
通过了CIS、3D NAND、HBM等先进产品的考核验证并量产应用
待补信息 · 11 项
试验名称
验证目标
被测版本
执行单位
执行日期
材料与设备
试验方法
对照方案
通过门槛
结果指标
验证局限
早期厂内测试与客户验证阶段
验证结论
已完成厂内测试，出机进入客户产线验证
待补信息 · 12 项
试验名称
验证目标
被测版本
执行单位
执行日期
环境条件
材料与设备
试验方法
对照方案
通过门槛
结果指标
验证局限
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05专利与论文

3 条资料记录 · 8 个有值字段 · 0 条AI解读

字段填充 19.0%
AI阅读导读

保存21页CN211957605U原件，核封面、权利要求1—9和背景，视觉看封面/权1页/图1。仅相关结构候选，未确认获奖77项清单归属或型号采用；论文22篇是项目披露总数，具体全文清单仍缺。

继续完善的方向
  • 取得77项专利/22篇论文完整清单及型号关联。
  • 核现时官方权利/法律状态、同日发明案及许可；公告专利权人不当原申请人。
公开披露专利数量
披露数量
77
待补信息 · 8 项
成果类型
成果名称
成果编号
计数单位
统计口径
统计截止日期
逐项清单是否取得
统计核对状态
公开披露论文数量
披露数量
22
待补信息 · 8 项
成果类型
成果名称
成果编号
计数单位
统计口径
统计截止日期
逐项清单是否取得
统计核对状态
高度集成减薄设备：相关技术候选
专利名称
一种高度集成化的减薄设备
申请号
202021058155.8
授权公告号
CN211957605U
申请日
2020-06-10
授权公告日
2020-11-17
权利要求定位
权利要求书2页
待补信息 · 18 项
公开文献号
法域
专利类型
最早优先权日
公开日
申请人原文
发明人
公开文本当时权利人
当前权利人
现时法律状态
状态核验日期
同族标识
同族成员
IPC或CPC分类
项目关联程度
关联依据
关联创新点
许可与使用条件
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06历程与故事

1 条资料记录 · 2 个有值字段 · 0 条AI解读

字段填充 18.2%
AI阅读导读

早期报道记9月27日首台出货并进入客户验证；当前原件未提供明确年份，保留月日不补猜。2025年报2026-04-23发布所述GP300累计出机突破20台及多台验收，不能反推为早期即已量产或全部减薄系列。

继续完善的方向
  • 补首台出货对应年份的原始公告及批产/型号变更时间线。
  • 区分报道发布日期、报告期、出机、验收及订单。
首台GP300出货：仅原文月日
事件日期
9月27日
采取行动
出机进入客户产线验证
待补信息 · 9 项
事件标题
日期精度
所属阶段
涉及版本
事件对象
发生状态
结果
决策依据
关联成果或试验
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07应用与价值

1 条资料记录 · 2 个有值字段 · 0 条AI解读

字段填充 16.7%
AI阅读导读

年报仅按GP300所披露出机/验收阶段保留，不填公司总营收为本项目收入。对企业应用的价值目前是可研究的集成/反馈机制，没有新合作、合同、收益或目标企业验证。

继续完善的方向
  • 补用户端独立验收、工艺良率、维护及产出记录。
  • 目标企业需求与试验必须另建应用记录，不回写源项目事实。
GP300：2025年报所披露进展
应用状态
多台装备完成客户验收并贡献收入
应用规模
累计出机量突破20台
待补信息 · 10 项
应用场景
用户或应用单位
应用版本
应用起点
效益数值
效益单位
效益统计期间
效益核算口径
使用反馈
应用限制
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08质量与维护

0 条资料记录 · 0 个有值字段 · 0 条AI解读

暂无登记字段
AI阅读导读

原件、共享资料限定选录、事实与AI分层；首轮版本和评估分别冻结，质量总分未评、专家未审核。旧图仅保留旧JSON关联及字节，来源和再发布权利未确认。

继续完善的方向
  • 继续补原始验证、完整名单及成果清单。
  • 新资料入档后重新生成对应导读和评估，数量不直接加分。

这个项目的研究档案还有待整理，暂无已入档事实；请先补充本项目资料。

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引用来源

  1. S0030b9beafe392f9 · 2025-02.json
  2. S545c372a64c261c2 · R02-award-detail.html
  3. S4893dbe6a6a72392 · R05-patent-original.pdf
  4. S41b49090e09e7041 · 2025第十届好设计金奖 · award_name.txt
  5. Sbcef9f445676e1cb · 2025第十届好设计金奖 · edition.txt
  6. S29ebdfdbfe89a31e · 2025第十届好设计金奖 · level.txt
  7. S1704514245d484f4 · 2025第十届好设计金奖 · official_number.txt
  8. Sacf29cb1e9302935 · GP300历史具体型号 · name.txt
  9. S098be6586a7c5728 · 路新春：高校报道研发角色 · name.txt
  10. Sd47fe749ddbf0f5b · 路新春：高校报道研发角色 · project_role.txt
  11. Sc7f01a78db0ee739 · 首台GP300出货：仅原文月日 · date.txt
  12. Scbe610b59a35b348 · 首台GP300出货：仅原文月日 · action.txt
  13. S68ea92e486053620 · GP300：2025年报所披露进展 · scale.txt
  14. Sc5de934674d6d8ca · 2025-02-0.jpg
  15. Scd3db3a12e00b553 · 2025-02-1.jpg
  16. Sa5f918bb2e60aebc · 2025-02-2.jpg


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